石墨坩埚问题体现在:
新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶。
石墨坩埚因使用时间过长,其原有的厚度氧化降解而大为减薄。
石英坩埚问题体现在:
石英坩埚在放入时用力过量,底部受到损伤而产生隐裂。
在装底部料时大块的硅料撞击到石英坩埚底部产生隐裂。
坩埚上部装入太多的大料,熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。
石英坩埚因受到外力损伤已产生隐裂,熔料过程中发生破裂。
在石英坩埚的生产、包装、运输中受到损伤而产生隐裂。
影响碳化硅坩埚使用寿命的一些因素。
1、坩埚材质的化学成分和物理、化学特性对坩埚的使用寿命有很大的影响。
2、坩埚容量,感应炉坩埚的使用寿命随其容量的增大而下降。
3、坩埚的工作状况,试金坩埚供应商,连续冶炼和间歇冶炼对坩埚的使用寿命有很大的影响。
4、坩埚的制作工艺,制作坩埚的各个环节的操作质量对坩埚的使用寿命有着重要的影响
坩埚的原材料是二氧化硅。 就其纯度而言,试金坩埚参数,大体分为两种,一种是以天然水晶为原料的石英砂,商丘试金坩埚,它的杂质总含量(指Al、Fe等13种杂质元素的总和)一般均在50ppm以下,试金坩埚价格,另一种是用高纯合成原料经高温水解溶制而成的产品,它的纯度很高,13种杂质元素的总含量一般均不超过2ppm,但是它的价格昂贵,软化点低,不少坩埚厂家用这种高纯合成原料在坩埚内层烧结一层 lmm左右的透明层,从而既保证了坩埚内表面的纯度,又不致于使坩埚软化点过低。
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